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CVD管式爐的分類以及使用注意事項說明

更新時間:2020-01-03    點擊次數:22184
  CVD管式爐分為:真空,開啟式,高溫,氣氛,快速升溫,多溫區,立式,高溫高壓,實驗等等。
 
  使用注意事項:
 
  1. 冷爐使用時,由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質,以免出現噴料現象,污染爐管。
 
  2. 定期檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是否良好,應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。
 
  3.CVD管式爐使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件 及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內的清潔。
 
  4. 爐膛若采用石英管,當溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現不透明現象,這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷,屬正常現象。
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